Технологія газових трубопроводів з високою чистотою є важливою частиною системи постачання газу високої чистоти, яка є ключовою технологією для забезпечення необхідного газу з високою чистотою до точки використання та все ще підтримки кваліфікованої якості; Технологія газових трубопроводів з високою чистотою включає правильну конструкцію системи, вибір арматури та аксесуарів, будівництво та встановлення та випробування. Останніми роками все більш суворі вимоги щодо вмісту чистоти та домішок у виробництві продуктів мікроелектроніки, представлених масштабними інтегрованими ланцюгами, зробили технологію трубопроводів високоочищних газів, що все більше стурбовані та підкреслювали. Далі наведено короткий огляд газових трубопроводів з високої чистоти від вибору матеріалівof будівництво, а також прийняття та щоденне управління.
Види загальних газів
Класифікація загальних газів у галузі електроніки:
Загальні гази（Сильний газ）: водень (Н2), азот (n2), кисень (o2), Аргон (a2), тощо
Спеціальні газиє sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,Pocl3, SIH2CL2 Sihcl3,NH3, BCL3 ,Сиф4 ,CLF3 ,Співпраця,C2F6, N2o,F2,HF,HBR SF6…… тощо
Види спеціальних газів, як правило, можна класифікувати як корозійнугазовий, токсичнийгазовий, легковажнийгазовий, горючийгазовий, інертгазовийтощо. Загально використовувані напівпровідникові гази, як правило, класифікуються наступним чином.
(i) Корозійна / токсичнагазовий: Hcl, bf3, WF6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, BCL3… Тощо.
(ii)газовий: H2, Ч4, Sih4, Ph3, Ash3, sih2Cl2, Б2H6, Ch2f2,Ча3F, co… тощо.
(iii) горючагазовий: O2, Cl2, Н2O, NF3… Тощо
(iv) інертгазовий: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, Співавтор2, Ne, kr, він… тощо.
Багато напівпровідникових газів шкідливі для людського організму. Зокрема, деякі з цих газів, таких як SIH4 Спонтанне згоряння, доки витік буде жорстоко реагувати з киснем у повітрі і почне горіти; і попіл3Висококсичний, будь -який незначний витік може спричинити ризик життя людини, це через ці очевидні небезпеки, тому вимоги щодо безпеки дизайну системи особливо високі.
Застосування обсягу газів
Як важлива основна сировина сучасної промисловості, широко використовуються газові продукти, а велика кількість загальних газів або спеціальних газів використовується в металургії, сталі, нафті, хімічній промисловості, машинах, електроніці, скла, кераміці, будівельних матеріалах, будівництві, переробці харчових продуктів, медицини та медичних секторів. Застосування газу має важливий вплив на високу технологію цих полів, зокрема, і є його незамінним газом сировини або технологічним газом. Тільки з потребами та просуванням різних нових промислових секторів та сучасних наукових та технологій продукти газової промисловості можуть бути розроблені за допомогою стрибків та меж з точки зору різноманітності, якості та кількості.
Застосування газу в промисловості мікроелектроніки та напівпровідників
Використання газу завжди відігравало важливу роль у напівпровідниковому процесі, особливо напівпровідниковий процес широко застосовується в різних галузях, від традиційної галузі ULSI, TFT-LCD до поточного мікроелектроеханічного (MEMS), і все це використовує так званий напівпровідниковий процес як виробничий процес продукції. Чистота газу має рішучий вплив на продуктивність компонентів та врожайності продукції, а безпека газопостачання пов'язана зі здоров’ям персоналу та безпекою рослинних операцій.
Значення трубопроводів високої чистоти у транспорті з високою чистотою
У процесі плавлення та виготовлення матеріалу з нержавіючої сталі близько 200 г газу може бути поглинена на тонну. Після переробки нержавіючої сталі не тільки її поверхня липка з різними забрудненнями, але і в металевій решітці, також поглинула певну кількість газу. Коли через трубопровід відбувається повітряний потік, метал поглинає цю частину газу знову вводити повітряний потік, забруднюючи чистий газ. Коли повітряний потік у трубці переривається, трубка адсорбує газ під тиском, і коли повітряний потік перестає проходити, газ, адсорбований трубою, утворює падіння тиску для вирішення, а вирішений газ також потрапляє в чистий газ у трубці як домішки. У той же час, адсорбція та роздільна здатність повторюються, так що метал на внутрішній поверхні трубки також виробляє певну кількість порошку, і ці частинки металевого пилу також забруднюють чистий газ всередині трубки. Ця характеристика трубки має важливе значення для забезпечення чистоти транспортного газу, яка вимагає не лише дуже високої гладкості внутрішньої поверхні трубки, але й високої стійкості до зносу.
Коли використовується газ із сильними корозійними показниками, для трубопроводів необхідно використовувати трубопроводи, стійкі до корозії. В іншому випадку труба буде виробляти корозійні плями на внутрішній поверхні через корозію, а в серйозних випадках буде велика площа зачистки металу або навіть перфорації, яка забруднить чистий газ, який слід розподілити.
Підключення високої чистоти та високої чистоти передачі газу та розподілу трубопроводів великих витрат.
В принципі, усі вони зварені, а використовувані трубки повинні не змінювати організацію при застосуванні зварювання. Матеріали з занадто високим вмістом вуглецю підлягають проникності повітря зварених деталей при зварюванні, що робить взаємне проникнення газів всередині та поза трубою і руйнує чистоту, сухість та чистоту переданого газу, що призводить до втрати всіх наших зусиль.
Підсумовуючи, для трубопроводу з високою чистотою та спеціальною газовою передачею необхідно використовувати спеціальну обробку труби з нержавіючої сталі з високою чистотою, для виготовлення трубопроводів високої чистоти (включаючи труби, фурнітури, клапани, VMB, VMP) у розподілі газу високої чистоти займає життєву місію.
Загальна концепція чистих технологій для трансмісії та розповсюдження трубопроводів
Високо чиста та чиста передача корпусу газу з трубопроводами означає, що існують певні вимоги або контроль для трьох аспектів газу, які підлягають перевезенню.
Чистота газу: вміст атмосфери домішок у чистоті ГГА: вміст атмосфери домішок у газі, як правило, виражається у відсотках від чистоти газу, наприклад, 99,9999%, також виражається як об'ємне співвідношення вмісту атмосфери домішки, ppb, ppt.
Сухість: кількість слідів вологи в газі або кількість, що називається вологістю, зазвичай виражена в точці роси, наприклад, точка роси атмосферного тиску -70. С.
Чистота: кількість частинок забруднюючих речовин, що містяться в газі, розмір частинок мкм, скільки частинок/м3 для експресування, для стисненого повітря, як правило, виражено з точки зору того, скільки мг/м3 неминучих твердих залишків, що охоплює вміст масла.
Класифікація розмірів забруднюючих речовин: Частинки забруднюючих речовин, в основному відносяться до викидання трубопроводів, зносу, корозії, що генеруються частинками металів, частинками атмосфери, а також мікроорганізмів, фагів та вологи, що містять вологу, діляться на краплі конденсації газу тощо, відповідно до розміру його частинок ділиться на конденсацію газу тощо
а) Великі частинки - розмір частинок вище 5 мм
б) Частинка-діаметр матеріалу між 0,1 мкм-5 мкм
в) Ультра-міро частинки-розмір частинок менше 0,1 мкм.
Для посилення застосування цієї технології, щоб мати можливість сприйняти розуміння розміру частинок та одиниць мкм, для довідки передбачений набір конкретного стану частинок
Далі наведено порівняння конкретних частинок
| Назва /розмір частинок (мкм) | Назва /розмір частинок (мкм) | Назва/ розмір частинок (мкм) |
| Вірус 0,003-0,0 | Аерозоль 0,03-1 | Аерозолізований мікродроплет 1-12 |
| Ядерне паливо 0,01-0.1 | Фарбувати 0,1-6 | Попіл 1-200 |
| Вуглець чорний 0,01-0,3 | Молочний порошок 0,1-10 | Пестицид 5-10 |
| Смола 0,01-1 | Бактерії 0,3-30 | Цементний пил 5-100 |
| Сигаретний дим 0,01-1 | Піщаний пил 0,5-5 | Пилок 10-15 |
| Силікон 0,02-0,1 | Пестицид 0,5-10 | Людське волосся 50-120 |
| Кристалізована сіль 0,03-0,5 | Концентрований сірчаний пил 1-11 | Морський пісок 100-1200 |
Час посади: 14-2022 червня