Використання газів у напівпровідниковій галузі сягає початку 1950 -х до 1960 -х років. Під час напівпровідникового виробництва гази в основному використовуються для очищення та захисту напівпровідникових матеріалів для забезпечення їх чистоти та якості. Серед найбільш часто використовуваних газів - азот та водень.
По мірі розвитку напівпровідникової технології та виробничих процесів продовжували вдосконалюватися, попит на гази збільшувався. У 1970 р. Подальший розвиток технології виробництва напівпровідників застосування газів у ключових процесах, таких як травлення та осадження тонких плівок, поступово збільшувалося, а фтори (наприклад, SF6) та кисень загально використовувалися травленням та осадженнями. 1980 р. Зрозуміло, що подальше збільшення попиту на гази з розробкою інтегрованих ланцюгів та збільшенням попиту на них. Водень широко використовувався у виробничому процесі, включаючи відпал водню та осадження пари водню. І з 1990 року по теперішній час, попит на гази з високою чистотою та специфічні гази збільшився, оскільки розміри напівпровідникових пристроїв продовжують скорочуватися та введені нові процеси. Наприклад, застосування екстремальної ультрафіолетової літографії (EUV) вимагає використання надзвичайно високих навантажень, таких як азот та водень.
Газ напівпровідника продовжує збільшуватися з розвитком суміжних продуктів, що керуються все більшою кількістю продуктів, в той час як газ також належить до джерела небезпеки, тому продукти, що використовуються для декомпресії газу, продуктів виявлення газу та запобігання витоку витоку газу, такі як регулятори тиску, газові клапани, датчики тиску газу, детектор витоку газу тощо, а їх ролі наступні: наступні: наступні:
Регулятори тиску: регулятори тиску - це пристрої, що використовуються для контролю тиску газу. Зазвичай вони складаються з регуляторного клапана та датчика тиску. Регулятори тиску приймають вхід газу високого тиску та стабілізують тиск вихідного газу, регулюючи клапан для задоволення конкретних вимог до застосування. Регулятори тиску широко використовуються в таких сферах, як промисловість, виробництво та лабораторії, а також у напівпровідниковій галузі, серед інших, для забезпечення стабільності та безпеки газового постачання.
Газові клапани: газові клапани використовуються для контролю над потоком газів та для закриття газових проходів. Зазвичай вони мають функцію включення/вимкнення, яка відкриває або закриває потік газу. Існують різні типи газових клапанів, включаючи ручні клапани, електричні клапани та пневматичні клапани. Вони широко використовуються в газових системах для контролю потоку, тиску та витіку газів.
Давакції для тиску газу: Домагги тиску газу використовуються для вимірювання рівня тиску газу. Зазвичай вони встановлюються в критичних місцях в газових системах для моніторингу змін тиску та забезпечення того, що вони знаходяться в безпечних межах. Давакції з тиском газу широко використовуються в промисловості, виробництві та лабораторіях, а також брали участь напівпровідникова промисловість.
Детектори витоку газу: Детектори витоку газу використовуються для виявлення витоків у газових системах. Вони виявляютьНаявність витоків газу та звучить тривогу, щоб своєчасне вжиті дії можна було вжити для запобігання аварій витоку. Детектори витоку газу широко використовуються в промислових, хімічних, нафтогазових застосуванні, а також залучається напівпровідникова промисловість.
Час посади: 20-2024 лютого