Вся висока чистота, висока чистота в чистій азотній трубі потрібно доставити до інструменту (POU) через трубопровід. Для досягнення вимог до якості інструменту, у випадку індикаторів газового випуску необхідно приділяти більше уваги системі труб, вибору матеріалів та якості будівництва. На додаток до точності газового або очисного обладнання, на нього значною мірою впливає багато факторів системи трубопроводу. Тому вибір труб повинен дотримуватися відповідних принципів галузі та вказувати на матеріал трубопроводу.
Матеріал чистого трубопроводу азоту вибирається відповідно до потреб використання, а 316L BA зазвичай використовується в контакті з мікросхемою, але не бере участі в процесі реактивного процесу. Шорсткість поверхні в трубці є стандартом для вимірювання якості труби. Чим нижча шорсткість, можливості перенесення частинок значно зменшуються.
Чисті трубопроводи з азотом можуть поглинати близько 200 г газу на тонну під час плавного матеріалу з нержавіючої сталі. Нержавіюча сталь обробляється, не тільки поверхня є клейкою, але й на певну кількість газу також впливає на його металеву решітку. Коли в трубопроводі відбувається потік повітря, ця частина газу знаходиться в металі, знову ввійтиме в потік повітря та забруднює чистий газ. Коли інтриактивний потік трубки не є безперервним потоком.
Коли труба адсорбується під тиском, газ адсорбується, газ зупиняється, а газ, адсорбований трубою, утворив аналіз, а розбитий газ також використовується як домішки в чистий газ у трубі. У той же час адсорбція, аналізуйте, щоб поверхня труби також створювала певний порошок, який також є очищеним газом у трубці. Ця особливість чистого газопроводу є критичною, щоб забезпечити чистоту поданого газу, не тільки потребує дуже високої гладкості внутрішньої поверхні, але й високостійких характеристик.
Коли газ сильний у корозії, необхідно використовувати стійку до корозії трубу з нержавіючої сталі. В іншому випадку труба чистого газопроводу генерує корозійні плями через корозію, і буде велике зачистка металу або навіть перфорацію, і тим самим забруднення чистого газу з чистим газом.
Час посади: 07-2022 рр.