1 | Максимальний робочий тиск 20,6 МПа. |
2 | Макс.робоча температура 204 ℃ (висока температура середовища до 454 ℃, у цей час ущільнювальний матеріал замінюється розширеним графітом) |
3 | Система фільтрації Застосовується тверді забруднювачі, гази, рідини. |
4 | Порошкова металургія з нержавіючої сталі, спечений фільтр, точність фільтра 2 мкм ~ 40 мкм |
5 | Потік фільтра 1x 10 -6~1 × 10-2 л/хв.см2.па |
6 | Фільтр можна змінити. |
Характеристики продукту Filter
1 | Широкий діапазон застосування, діапазон витрати від 15 до 300SL / хв. |
2 | Він має хорошу сумісність з більшістю напівпровідникових технологічних газів високої чистоти. |
3 | 3 здатність до фільтрації наночастинок підтримує високу ефективність потоку та надмалий перепад тиску. |
4 | Електрополірована поверхня 5Ra може запобігти внутрішньому забрудненню. |
5 | Випікайте гарячим азотом після деіонізованої води, щоб відповідати стандартам напівпровідникового процесу. |
6 | 1000-рівневий асептичний виробничий цех без пилу, очищення та пакування. |
7 | Тест на 100% витік гелію. |
Вхідний отвір | Розетка | |
1 | Трубний фітинг 1/8″ | Трубний фітинг 1/8″ |
2 | Трубний фітинг 1/4″ | Трубний фітинг 1/4″ |
3 | Трубний фітинг 3/8″ | Трубний фітинг 3/8″ |
4 | Трубний фітинг 1/2″ | Трубний фітинг 1/2″ |
5 | Трубний фітинг 6 мм | Трубний фітинг 6 мм |
6 | Трубний фітинг 8 мм | Трубний фітинг 8 мм |
7 | Трубний фітинг 10 мм | Трубний фітинг 10 мм |
8 | Трубний фітинг 12 мм | Трубний фітинг 12 мм |
9 | 1/8″ внутрішній NPT | 1/8″ внутрішній NPT |
10 | 1/4″ внутрішній NPT | 1/4″ внутрішній NPT |
11 | 1/4″ зовнішня NPT | 1/4″ зовнішня NPT |
12 | 3/8″ зовнішня NPT | 3/8″ зовнішня NPT |
13 | 1/2″ зовнішня NPT | 1/2″ зовнішня NPT |
Параметри продуктивності продукту фільтра
1 | Точність фільтрації | ≥0,0025 мкм | |
2 | Ефективність фільтрації | Швидкість видалення99,99999%≥0,0025 мкм | |
3 | Номінальна витрата | 15 л/хв | |
4 | 60 л/хв | ||
5 | 120 л/хв | ||
6 | 200 л/хв | ||
7 | 300 л/хв | ||
8 | Склад фільтра | фільтруючий елемент | 316L/PTFE |
9 | житло | нержавіюча сталь 316L | |
10 | Умови праці | Максимальний вхідний тиск | 21 МПа(310 кгс/см2) |
11 | Максимальний перепад тиску | 15 МПа(153 кгс/см2) | |
12 | Максимальна робоча температура | 430 ℃ (інертний газ) | |
13 | Швидкість витоку гелію | 1×10-9 атм.куб.см/сек | |
14 | Оздоблення поверхні | ≤Ra 5 мкдюймів |